无色有刺激腥臭味的液体。遇水分解，溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。易燃，在空气中能自燃。

CAS号：10025-78-2

分子式：CL3-H-SI

分子量：135.44   

比重：1.35 (0℃ )

熔点：-134 ℃    

沸点：31.8 ℃                     
蒸汽压：400毫米汞柱                            
蒸汽密度：4.7

 制备

经干燥的硅粉在氯化沸腾炉中与干燥氯化氢气体在340°C下进行反应，生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，再经冷凝，得成品。

用途

用作有机硅化合物的原料，也是生产多晶硅的基本原料。