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产品详情

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甲基硅烷(MS)

使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格，阀门为CGA660/CGA350/CGA634，不同容积的容器均按充装系数0.25kg/L包装产品，还可根据用户需求提供不同包装和接口。

产品指标：

材料级甲基硅烷
气体名称	Methylsilane(CH,SiH,)
成份/杂质名称	产品指标
甲基硅烷	≥99.5 %
不凝气杂质(N，，Oz+Ar，CO，CH)	≤0.2%
硅烷	≤0.2%
氯硅烷	≤0.1%
电子级甲基硅烷
气体名称	Methylsilane(CH₃SiH₃)
成份/杂质名称	产品指标
SiH₃CH₃	>99.98%(不含其他甲基硅烷)
N₂	≤10ppm/v
Ar+O₂	≤2ppm/v
CO₂	≤10ppm/v
CH₄	≤50ppm/v
SiH₄	≤50ppm/v
Other Methylsilanes	≤50ppm/v
Chlorosilanes	≤50ppm/v

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