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随着科技的飞速发展,二氯硅烷(CAS No. 4109-96-0)作为一种重要的无机化合物,在化工、电子、材料科学等领域展现出了广泛的应用前景和巨大的发展潜力。据最新市场数据显示,二氯硅烷的市场需求持续增长,特别是在半导体制造领域,其作为硅源的应用价值日益凸显。
二氯硅烷具有在较低温度下分解和高硅晶体生长速率的优点,使其成为微电子中半导体硅层的起始物料的理想选择。此外,二氯硅烷还用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅,其硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高,沉积硅更有效,且淀积温度比其他氯硅烷低。
随着全球对半导体材料需求的不断增加,二氯硅烷的生产和应用技术也在不断进步。目前,国内外多家企业正在加大研发力度,提高二氯硅烷的纯度和产量,以满足市场需求。