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二氯硅烷(CAS No. 4109-96-0)作为半导体制造中的重要原料,其应用前景日益广阔。随着全球半导体产业的快速发展,对高质量硅源的需求不断增加,二氯硅烷凭借其独特的化学性质和优异的物理性能,成为半导体制造中的理想选择。
二氯硅烷具有在较低温度下分解和高硅晶体生长速率的优点,这使得其在半导体制造中能够发挥重要作用。特别是在外延法工艺中,二氯硅烷作为硅源,能够显著提高半导体材料的质量和性能。
此外,二氯硅烷还用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅等领域。随着这些领域的不断发展,二氯硅烷的市场需求也在不断增加