材料级三甲基硅烷

成分/杂质名称

产品指标

三甲基硅烷

≥99.5 %

不凝气杂质(N_2, O₂+Ar，CO_2, CH₄)

≤1.0 %

硅烷

≤0.5 %

氯硅烷

≤0.5 %

电子级三甲基硅烷

成分/杂质名称

产品指标

( CH₃)₃SiH

≥99.99%(不含其他甲基硅烷)

N₂

≤10 ppm/v

O₂+Ar

≤2ppm/v

CO₂

≤5ppm/v

CH₄

≤5ppm/v

SiH₄

≤5ppm/v

Other Methylsilanes

≤300 ppm/v

Chlorosilanes

≤10 ppm/v